[매일경제] 투명박막 트랜지스터 기술개발(투명 디스플레이)

 

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내비게이션이 車앞유리 속으로

KAIST 박재우 교수팀…투명박막 트랜지스터 기술 개발

자동차 앞 유리에 내비게이션 시스템을 장착한 모습. 영화 '마이너리티 리포트'에서 주인공이 영상을 보는 데 사용한 '투명박막 트랜지스터'를 현실화할 수 있는 원천기술을 국내 연구진이 개발했다. KAIST 전기전자공학과 박재우ㆍ유승엽 교수팀은 테크노세미켐, 삼성전자 LCD총괄과 공동연구를 통해 산화티타늄(TiO2)을 이용한 투명박막 트랜지스터 제조 원천기술을 확보했다고 5일 밝혔다. 투명박막 트랜지스터는 '투명 디스플레이' 'AMOLED'(능동형 유기발광 다이오드) 등에 사용되는 것으로, 미래 디스플레이를 대표할 '꿈의 디스플레이'로 불리기도 한다. 박 교수팀이 개발한 산화티타늄 기반 투명박막 트랜지스터는 제조 비용이 상대적으로 저렴하고 재현성ㆍ신뢰성이 높은 것이 가장 큰 장점이다. 자연상태에서 풍부한 금속자원인 산화티타늄을 사용하기 때문이다. 디스플레이의 대형화도 가능하다. 기존 반도체, 디스플레이 양산 방법인 화학기상증착법(CVD)을 사용해 낮은 온도(250도)에서도 박막을 형성시킬 수 있기 때문이다. 기존 미국ㆍ일본이 보유한 원천기술인 스퍼터링 방식은 연속작업에 따른 물질 조성의 변화로 CVD 방식에 비해 트랜지스터 특성의 재현성ㆍ신뢰성에 문제점을 가지고 있었다. 산화티타늄을 기반으로 하는 새 투명박막 트랜지스터 제조 기술은 국내 특허로 출원됐으며 미국 일본 유럽에도 관련 기술 특허가 출원되고 있다. 연구팀은 앞으로 2~3년간 지속적인 공동연구개발을 통해 신뢰성을 검증해 나가는 한편, 대형 CVD 장비에서 양산 가능한 기술도 확보할 예정이다. 양산기술이 확보되면 국내 디스플레이 양산업체에 관련 기술을 이전할 계획도 갖고 있다. [김제관 기자] [ⓒ 매일경제 & mk.co.kr, 무단전재 및 재배포 금지] 2008.08.05 18:11:34 입력

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